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專(zhuan) 業(ye) 潔淨室淨化工程
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淨化車間的規格一般適用於(yu) 美國聯邦規格No.209B。這個(ge) 規格對淨化間的環境要素即空氣潔淨度、溫濕度、室內(nei) 壓等都進行了規格化規定。但是，伴隨著潔淨化程度的不斷提高，美國聯邦規格進行了改版，其內(nei) 容主要是以潔淨度進行分類。最新版已成為(wei) No209E，名稱也進行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數為(wei) 10x個(ge) /m3，把X表示成級別，同時加上米製M的意思，表示成M3.5等等。在表7裏表示的是美國聯邦規格No.209B，表8表示的是美國聯邦規格No.209E。在日本，相應的規格是JIS B9920。JIS9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數規定為(wei) 10的x立方個(ge) ，用Y表示級別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級別的主要內(nei) 容。
表7 美國聯邦規格No.209B
|
淨化間級別 |
粒子 |
室內(nei) 壓力Pa mmH2O |
溫度 |
濕度 |
氣流 換氣次數 |
照度 |
|||||
|
粒徑 um |
累計粒子數 |
範圍 （℃） |
推薦值（℃） |
差 （℃） |
高 （%） |
最低 % |
誤差 % |
||||
|
100 1000 10000 100000 |
≥0.5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100 1000 10 10000 65 100000 700 |
+13 （+1.3） 以上 |
19.4— 25 |
22.2 |
±2.8 特別時為(wei) ±1.4 |
45 |
30 |
±10 特別時為(wei) ±5 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流方式 ≥20次/h |
1080--1620 |
表8 美國聯邦規格No.209E的潔淨度級別分類
級別上限值是各級別名。上限值用指定粒徑以上的濃度（單位堆積粒子數）表示。*
|
級別名稱** |
級別上限值 |
||||||||||
|
粒徑 0.1um |
粒徑 0.2um |
粒徑 0.3um |
粒徑 0.5um |
粒徑 5um |
|||||||
|
SI*** |
English Unit |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
1 10 100 1000 10000 100000 |
350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- |
9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- |
75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- |
2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- |
30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- |
0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- |
10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 |
0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 |
-- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 |
-- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
*上表中表示的級別上限值僅(jin) 僅(jin) 是為(wei) 了級別分類而定義(yi) 的，並不表示實際的粒徑分布值。
**針對中間級別的濃度上限值，用如下的公式進行計算。
粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI單位裏的級別名稱，D :粒徑（um）
***國際單位（Systeme International d’Unites的縮寫(xie) ）
圖1，209E的潔淨度級別（圖略）圖中的●標記表示評價(jia) 潔淨度級別用的對象粒子。
（）內(nei) 數值是用English unit表示級別。
圖2，JIS B 9920的潔淨度級別的上限濃度
表9，JIS B 9920主要內(nei) 容
表10，美國航空宇宙局規格主要內(nei) 容
|
生物淨化間級別 |
粒子 |
生物粒子 |
室內(nei) 壓力 Pa mmH2O |
溫度℃ |
濕度 % |
氣流 換氣次數 |
照度 Lx |
||
|
粒徑 um |
累計 粒子數 個(ge) /ft (個(ge) /l) |
浮遊量 個(ge) /ft (個(ge) /l) |
沉降量 |
||||||
|
100 10000 100000 |
≥0.5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100 （3.5） 10000 （350） 65（2.3） 100000 （3500） 700(25) |
0.1 （0.0035） 0.5 （0.0176） 2.5 （0.0884） |
1200 （12900） 6000 （64000） 30000 （323000） |
+13 （+1.3） 以上 |
推 薦 值 |
40 — 50 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流式 ≥20次/h |
1080— 1620 |
如前所述，淨化車間的級別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個(ge) 級別。但根據各產(chan) 業(ye) 領域的作業(ye) 工序不同，形成必要的級別是不一樣的。例如，在半導體(ti) 製造工廠等裏邊，根據作業(ye) 內(nei) 容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的淨化間。而且，在製藥工廠裏，根據產(chan) 品的純度、作業(ye) 工序，需有從(cong) M3.5到M6.5（100，000）範圍廣泛的級別不等淨化間。因此說，各種產(chan) 業(ye) 所需要的淨化間，其要求的潔淨度是不同的。
就一般級別而言，表11可以作為(wei) 參考。
表11，各產(chan) 業(ye) 所要求的淨化車間級別一覽
|
領域和產(chan) 業(ye) |
潔淨度標準（級別） |
內(nei) 容 |
||
|
SI |
English unit |
|||
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半導體(ti) 工業(ye) （IC、LSI等） |
掩模板對準工藝 |
M3.5 |
100 |
|
|
刻蝕工藝 |
M3.5 |
100 |
腐蝕加工 |
|
|
擴散工藝 |
M3.5 |
100 |
高純度擴散 |
|
|
蒸著工藝 |
M3.5 |
100 |
高純度電鍍 |
|
|
塗布工藝 |
M3.5 |
100 |
感光劑塗布 |
|
|
電子設備 |
計算器製造 |
M5.5 |
10,000 |
磁頭 |
|
陰極射線管 |
M5.5 |
10,000, |
遮屏 |
|
|
磁帶 |
M5.5 |
10,000 |
防止雜音 |
|
|
精密儀(yi) 器 |
陀螺、微型軸承 |
M5.5 |
10,000 |
提高精度 |
|
導彈部件、繼電器 |
M5.5 |
10,000 |
防止誤動作 |
|
|
鍾表、小型計量儀(yi) 器 |
M5.5 |
10,000 |
組立、封裝、修理 |
|
|
光學、印刷 |
照相機、印刷電路板 |
M5.5 |
10,000 |
製作 |
|
鏡頭、膠片 |
M4.5 |
1,000 |
連接 |
|
|
電子製版 |
M5.5 |
10,000 |
製作、檢查 |
|
|
化學藥品 |
注射液充填 |
M3.5 |
100 |
調和、充填 |
|
無菌動物養(yang) 育 |
M3.5 |
100 |
SPF |
|
|
化學藥品 |
抗生物 |
M5.5 |
10,000 |
充填、檢查 |
|
一般醫療品 |
M6.5 |
100,000 |
製造 |
|
|
食品 |
釀造、發酵 |
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