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潔淨室一般包括潔淨區、準潔淨區和輔助區三部分。
潔淨室的平麵布置可以有以下幾種方式:
外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內(nei) 設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
內(nei) 廊式:潔淨室設在外圍,而走廊設在內(nei) 部,這種走廊的潔淨度級別一般都較高,甚至和潔淨室同級。
兩(liang) 端式:潔淨區設在一邊,另一邊設準潔淨和輔助用房。
核心式:為(wei) 了節約用地、縮短管線,可以潔淨區為(wei) 核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔淨區的影響,減少了冷熱能耗,利於(yu) 節能。