光伏新能源矽片潔淨室解決方案

光伏新能源矽片是以矽材料製成的鏡麵狀矽片，是半導體(ti) 集成電路芯片生產(chan) 的原材料。實驗室淨化無菌試驗室-潔淨實驗室-生物安全實驗室的建設方案包括：建築布局和裝修、空氣調節、給排水、氣體(ti) 供應、電氣設計、集中控製、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方麵內(nei) 容。目前，隨著微電子工業(ye) 的快速發展，集成電路技術已進入不到0.18微米的時代，極大地刺激了新型光伏能源矽片的發展。同時，對新型光伏能源矽片性能參數的要求也得到了很大的提高。因此，新型光伏能源矽片的發展前景十分樂(le) 觀。

光伏新能源矽波形的生產(chan) 工藝

光電新能源矽片生產(chan) 包括兩(liang) 個(ge) 主要部分：矽單晶棒生產(chan) 和光伏新能矽片生產(chan) ，分為(wei) 以下幾個(ge) 主要過程：

單晶棒生長 - 單晶棒切割和檢驗 - 外徑研磨 - 切片 - 倒角（圓邊） - 研磨/研磨片檢測 - 蝕刻（化學蝕刻，LP-CVD + AP-CVD等） - PTA熱處理 - 背部損傷(shang) 處理 - 拋光（ML粗拋，ML精拋） - 清洗 - 質量檢驗 - 清潔包裝

從(cong) 單晶棒的生長到外徑磨削再到矽單晶棒的生產(chan) 過程，切片後的過程是光伏新能源矽片的生產(chan) 工藝。以日本某矽片廠為(wei) 例，介紹了光伏新能源矽片生產(chan) 過程中空調淨化係統和自動控製係統的設計方案。

每個(ge) 生產(chan) 過程的環境控製要求

一家矽片廠生產(chan) 4-6英寸光伏新能源矽片，年產(chan) 量480萬(wan) 片。該公司的新型光伏能源矽片用於(yu) 製造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

正文

二、空調淨化係統

空調淨化的設計與(yu) 工藝的布置和生產(chan) 工藝密切相關(guan) 。工廠空調淨化係統的不同類型和不同用途都有自己的特點。介紹了光伏新能源矽片生產(chan) 工藝的空調淨化係統方案。

2.1 空調係統

1切片室，倒角室和研磨室僅(jin) 具有溫度控製要求。風冷式熱泵分體(ti) 式空調（PAC）用於(yu) 確保室溫要求。室內(nei) 機放置在車間，使用風道。層百葉風口側(ce) 供氣模式;室外單元放在屋頂上。切片室的風量大，新鮮空氣由直接蒸發式熱泵式屋頂空調器S1-1和S1-2補充。車間具有防塵要求。風冷式熱泵分體(ti) 式空調器在回風時具有中效過濾器（空氣塵埃計數效率：60％，1μm顆粒）。同樣的屋頂式空調需要兩(liang) 級過濾器。

其原理圖見圖:

2爐房，BSD室隻有溫控要求

采用空冷電加熱分體(ti) 式空調(PAL)來保證室溫.室內(nei) 單元放置在車間附近，空氣接收管安裝在空氣接收管附近。室外單元放在屋頂上。新鮮空氣來自鄰近潔淨室的正壓力。車間有防塵要求，空冷電加熱分體(ti) 式空調回風口設有中效過濾器(空氣粉塵計數效率：60%，適用於(yu) 1米)。