無塵車間的潔淨水平要求[行業應用實例]

目前，潔淨車間已廣泛應用於(yu) 各個(ge) 行業(ye) ，以防止顆粒汙染或其他要求，防止顆粒汙染，控製微生物汙染環境。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉(cang) ，基本是屬於(yu) 1級，屬於(yu) 特殊領域，麵積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chan) 車間，物聯網芯片的發展將是未來需求的一大方向。潔淨室對於(yu) 淨化空調係統的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴幹蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。無塵室淨化工程中各級空氣潔淨度的空氣淨化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣淨化處理，可采用亞(ya) 高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。由於(yu) 不同行業(ye) 的產(chan) 品特點不同，不同產(chan) 品的生產(chan) 過程不同，使用要求也不同，環境控製的內(nei) 容和指標也不一樣。無塵車間的環境治理內(nei) 容應包括：空氣淨化、潔淨建築、直接接觸水、氣、化工產(chan) 品及生產(chan) 設備、工業(ye) 設備等汙染物控製、微振動、噪聲、靜電控製、預防等。因此，無塵車間的設計不僅(jin) 要求室內(nei) 空氣淨化達到規定的空氣潔淨度等級，而且還必須防止建築材料和無塵車間裝修不當造成的汙染。一些無塵車間還要求供應超純水、超純氣體(ti) 和高純度化學品.

1.半導體(ti) 集成電路所需的空氣潔淨度

集成電路生產(chan) 環境對空氣潔淨度的要求主要取決(jue) 於(yu) 集成電路的集成。不同工藝中的空氣潔淨度水平取決(jue) 於(yu) 可能汙染的可能性和設備的潛在故障。

舉(ju) 例說明：

例1、一廠前集成電路工藝潔淨廠，無塵車間按加工設計，生產(chan) 6英寸矽片，1米集成電路，圖形專(zhuan) 用直尺雨1.0 um，控製顆粒尺寸0。....1

潔淨室空氣潔淨度等級要求：

光刻，膠水區ISO 3

離子注入、蝕刻CVD、外延和擴散的ISO 3級操作區

離子注入、蝕刻cvd、擴展、擴散等。維修區5

例2、潔淨廠房前的集成電路、無塵車間設計生產(chan) 5英寸矽片、256 K集成電路、圖形專(zhuan) 用尺雨2.0um。粒徑控製在0.2um左右。該工藝旨在生產(chan) 5英寸矽片、256 K集成電路，並控製粒度為(wei) 0.2μm。

潔淨室空氣潔淨度等級要求：

光刻和調平區的ISO 3級

離子注入，蝕刻cvd，外延，擴散等。操作區域4

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維護領域ISO 6。

2.某些電子產(chan) 品生產(chan) 環境的空氣潔淨度

隨著信息技術的發展，許多電子產(chan) 品的性能和質量的提高，以及生產(chan) 過程的小型化，對生產(chan) 環境進行一定程度的空氣潔淨和控製供給的要求越來越高。無塵車間工藝生產(chan) 所需各種高純材料的質量。目前國內(nei) 外電子產(chan) 品沒有統一的供氣方式。根據《空氣潔淨度等級統一規定》或《生產(chan) 環境控製要求》，各類電子產(chan) 品生產(chan) 企業(ye) 根據產(chan) 品品種、生產(chan) 工藝、產(chan) 品特點，確定設計建造無塵車間的空氣潔淨度等級。生產(chan) 工藝設備、生產(chan) 用原輔材料及無塵車間實際操作經驗。

舉(ju) 例說明：

例如，在生產(chan) 薄膜晶體(ti) 管彩色液晶顯示器的無塵車間中，tft-lcd具有尺寸小、質量輕、攜帶方便、功耗低、色彩逼真、容量大、分辨率高等優(you) 點。