人體(ti) 是最常見的靜電源,因為(wei) 靜電會(hui) 降低產(chan) 品的優(you) 良率,電磁幹擾會(hui) 中斷自動設備的運行,靜電吸附會(hui) 增加收集表麵顆粒的難度。淨化車間優(you) 點:構造簡單、係統建造成本低,潔淨室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。淨化工程指控製產(chan) 品 (如矽芯片等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度,使產(chan) 品能在一個(ge) 良好的環境空間中生產(chan) 、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為(wei) 淨化工程。無塵室淨化工程中各級空氣潔淨度的空氣淨化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣淨化處理,可采用亞(ya) 高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。所以有必要控製靜電的產(chan) 生。由於(yu) 靜電能將汙染物吸附在產(chan) 品或工具的表麵,靜電吸附已成為(wei) 潔淨室的研究熱點。
電子工業(ye) 中潔淨工廠的靜電危害主要表現為(wei) :
1.吸塵。由於(yu) 靜電吸附,潔淨的室內(nei) 空氣顆粒被吸附在電子元件和壁麵上,影響產(chan) 品的質量和潔淨度。靜電也成為(wei) 潔淨室裏一種新的灰塵來源。
2.引發火災和爆炸。在電子工業(ye) 潔淨室中,大量使用易燃易爆氣體(ti) ,液體(ti) 和有機溶劑。靜電可能成為(wei) 這些氣體(ti) 和溶劑的點火源,引起火災或爆炸。
三。電暈放電或火花放電會(hui) 發出噪音並幹擾電子設備和電子元件。
4.產(chan) 生靜電場、短路、電子元件疲勞或損壞。
要控製人體(ti) 的靜電,最有效的措施是將人體(ti) 與(yu) 地球,即地麵連接起來。因此,要安裝防靜電複合橡膠板,使用防靜電地線連接良好,資金充足,可選用防靜電活動地板防靜電鞋。為(wei) 了保持人體(ti) 與(yu) 地球的連接,要求地麵也是防靜電的,可以將人體(ti) 的靜電引入地麵,使地麵可以由防靜電的地麵墊構成,如果機房的建築已經固定,設備安裝得很好,並且不想由於(yu) 安裝防靜電設備而導致這些設備的生產(chan) ,還可以選擇使用防靜電地板墊和防靜電複合橡膠板,具有價(jia) 格低廉、結構簡單的優(you) 點。
具體(ti) 的防靜電措施如下:
1。建立標準接地係統。
2.對人員的靜電保護。在潔淨室內(nei) 工作的人是最大的靜電來源。
(1)操作人員穿著防靜電潔淨衣物(如圖所示)、防靜電手套和腕帶;
2)操作員圍繞靜態敏感設備進行行為(wei) 控製培訓。
三。潔淨室外殼結構的防靜電,包括牆壁、門、窗、天花板和地板。使用高導電性材料。
4.在生產(chan) 和操作區域使用防靜電地麵。
主要研究結果如下:1)地層具有導電性,長期保持性能穩定;
2)表麵層由靜電耗散材料製成;
3)采取鋪設接地網等靜電放電措施。
5.應控製濕度,相對濕度應控製在40-70%。
6.在生產(chan) 區,在供氣管和供氣管出口處安裝離子風機。
7.諸如工作台,座椅,推車,存儲(chu) 架,手提箱,工具等材料需要具有防靜電功能。
8。用於(yu) 包裝靜電敏感器件的塑料袋應具有防靜電功能。
9.零部件、半成品和產(chan) 品的轉船要求符合抗靜電要求。
10.對於(yu) 可能造成靜電危害的設備,流動液體(ti) 管道應采取防靜電接地措施。
