淨化工程潔淨技術發展概述

淨化工程潔淨技術是一個(ge) 新興(xing) 的科學技術領域，是跨學科、跨部門、跨學科的綜合性科技新分支。無塵室淨化工程中各級空氣潔淨度的空氣淨化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣淨化處理，可采用亞(ya) 高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。淨化工程指控製產(chan) 品 (如矽芯片等) 所接觸大氣的潔淨度及溫濕度，使產(chan) 品能在一個(ge) 良好的環境空間中生產(chan) 、製造。此環境空間的設計施工過程即可稱為(wei) 淨化工程。淨化車間優(you) 點：構造簡單、係統建造成本低，潔淨室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。它與(yu) 許多行業(ye) 和學科密不可分，具有自己獨特的特點。我們(men) 必須學習(xi) 和吸收各行業(ye) 、各學科的成就、經驗和優(you) 勢。善於(yu) 根據自身特點，充分發揮和積極調動各領域的科技人員。

與(yu) 其他高技術一樣，淨化工程技術的誕生和初步應用服務於(yu) 軍(jun) 事目的。在第二次世界大戰中，一些槍支、坦克、飛機等使用的儀(yi) 器經常失效。開發商意識到儀(yi) 器生產(chan) 和裝配環境中的空氣中粒子是罪魁禍首，於(yu) 是工業(ye) 潔淨室誕生了。原來的工業(ye) 清洗室比較簡單。隨著原子武器研究和生化武器研究的發展，高效空氣過濾器在20世紀40年代早期得到了成功的開發和應用。20世紀60年代初，出現了單向流動潔淨室，這些設備和技術的誕生成為(wei) 潔淨技術發展的裏程碑，為(wei) 現代潔淨技術奠定了基礎。

潔淨工程原來的潔淨標準是由美國製定的，也是使用最廣泛的。單位是帝國製度。允許粒子的最大數量為(wei) 每立方英尺空氣0.5微米粉塵。另一種是國際單位，是通常使用的對值，即每立方米空氣中允許的最大粒子數0.5μm塵埃粒子。

雖然現代工業(ye) 潔淨室仍然使用懸浮顆粒物作為(wei) 主要控製對象，但在某些過程中，還提出了對空氣中分子汙染物的控製要求。因此，空氣淨化技術的關(guan) 鍵設備也從(cong) 單顆粒過濾器發展成可以吸收有害氣體(ti) 物質的化學過濾器。

微電子工業(ye) 是現代工業(ye) 潔淨室應用的代表。主要產(chan) 品有大型集成電路和平板顯示器。半個(ge) 多世紀以來，集成電路發展迅速。隨著集成度的提高，構件的線寬不斷縮小。因此，氣溶膠顆粒的控製粒徑越來越小。一般認為(wei) 控製粒徑應為(wei) 線寬的1/10-1/3，但由於(yu) 線寬越來越小，這一要求也很難滿足。微電子產(chan) 品的快速發展對傳(chuan) 統潔淨技術提出了巨大挑戰，也促進了現代潔淨技術的發展。工業(ye) 潔淨室主要由空氣中的懸浮顆粒物控製，為(wei) 精密機械和電子產(chan) 品行業(ye) 提供所需的生產(chan) 環境。

20世紀60年代初是中國潔淨技術發展的開端，大約比國外晚了十年。在中國，這是一個(ge) 非常特殊和困難的時期。一方麵，在經曆了三年的自然災害和經濟基礎薄弱之後，在科學和技術方麵沒有與(yu) 先進國家直接接觸，也沒有必要的科學和技術數據、信息和樣本。在這些困難的條件下，中國的潔淨技術工人圍繞著精密機械、航空儀(yi) 器和電子工業(ye) 的需要，開始了自己的創業(ye) 之旅。