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所謂的淨化項目是控製產(chan) 品(如矽片)接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度,使產(chan) 品可以在良好的環境中生產(chan) 和製造。無塵室裝配式潔淨廠房的全部維修構件在工廠內(nei) 按統一模數及係列加工完成,適於(yu) 批量生產(chan) ,質量穩定,供貨迅速。無塵車間叫潔淨廠房、潔淨室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間範圍內(nei) 之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除,並將室內(nei) 之溫度、潔淨度、室內(nei) 壓力、氣流速度與(yu) 氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內(nei) ,而所給予特別設計之房間。潔淨車間機動靈活,即適合在新建廠房配套安裝,也適宜老廠房的淨化技術改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合,拆卸方便。該空間的設計和施工過程可稱為(wei) 淨化工程。淨化工作可分為(wei) 湍流和層流。
1、亂(luan) 流式
空氣通過潔淨室的風管和空氣過濾器(HEPA)通過空調箱進入潔淨室,並通過潔淨室兩(liang) 側(ce) 的隔板或高架地板返回。由於(yu) 氣流的非線性運動,使其處於(yu) 不規則的湍流或渦流狀態。這種類型適用於(yu) 1000-100000級潔淨室。優(you) 點:結構簡單,係統建設成本低,潔淨室易於(yu) 擴建,無塵工作台可用於(yu) 某些特殊使用場所,提高潔淨室等級。缺點:湍流產(chan) 生的粉塵顆粒漂浮在室內(nei) 空間,不易排放,易汙染工藝產(chan) 品。此外,如果係統停止運行並重新啟動,則需要很長時間才能達到所需的清潔度。
2、層流式
層流氣流進入一條均勻的直線,空氣通過100%覆蓋的過濾器進入房間,空氣由高架地板或兩(liang) 側(ce) 隔板返回。這種類型適合在較高的環境中使用潔淨室等級。一般情況下,潔淨室等級為(wei) 1~100級。它可分為(wei) 兩(liang) 類:
(1)水平層流型:水平空氣從(cong) 一個(ge) 方向從(cong) 過濾器吹出,相對壁的回風係統返回風,灰塵隨風向排出到外麵,下遊汙染情況普遍嚴(yan) 重。層流罩
優(you) 點:結構簡單,運行後短時間內(nei) 穩定。缺點:施工成本高於(yu) 湍流式,室內(nei) 空間不易擴大。
(2)垂直層流:房間的天花板完全覆蓋有ULPA過濾器,空氣從(cong) 頂部吹向底部,可以獲得更高的清潔度。在不影響其他工作區域的情況下,由工藝或工作人員產(chan) 生的粉塵可以快速地排放到室外。
優(you) 點:易於(yu) 管理,在短時間內(nei) 穩定運行,不易受運行狀態或操作人員的影響。湍流的缺點:施工成本高,空間靈活使用困難,吊頂吊架占據相當大的空間,過濾器的維護和更換比較麻煩。混合型:複合型結合湍流和層流,提供部分超潔淨空氣。
