光學微電子潔淨廠房
光學微電子潔淨廠房
方案簡介：
光學微電子淨化工程亦名無塵室或清淨室，目前已是半導體(ti) 、精密製造、液晶製造、光學製造、線路板
製造和生物化學、醫藥、食品製造等行業(ye) 不可或缺的重要設施。近幾年來，由於(yu) 技術之創新發展，對於(yu) 產(chan)
品的高精密度化、細小型化之需求更為(wei) 迫切，如超大型積體(ti) 電路之研究製造，已成為(wei) 世界各國在科技發展
上極為(wei) 重視的項目，而我公司的設計理念及施工技術在行業(ye) 中則處於(yu) 領先地位。
光學微電子淨化工程之定義(yi) 為(wei) 將一定空間範圍內(nei) 之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排
除，並將室內(nei) 之溫濕度、潔淨度、室內(nei) 壓力、氣流速度與(yu) 氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一
需求範圍內(nei) ，而所給於(yu) 特別設計之密閉空間。
無塵車間/潔淨室的目的如下：
功能一：過濾循環空氣建議無塵環境，
功能二：調節空氣建立恒溫恒濕環境。
功能三，建立正壓環境避免外氣汙染
光學微電子淨化工程一般包括：
1、 潔淨生產(chan) 區
2、 潔淨輔助間（包括人員淨化用房、物料淨化用室和部分生活用室等）
3、 管理區（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、 設備區（包括淨化空調係統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房）
光學微電子淨化工程淨化原理
氣流→初效淨化→空調→中效淨化→風機送風→管道→高效淨化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒
→ 回風百葉窗→初效淨化 重複以上過程，即可達到淨化目的。
光學微電子淨化工程淨化參數
換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。
壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為(wei) 宜；電子車間濕度略高以免產(chan) 生靜電。
噪聲≤65dB（A）；
新風補充量是總送風量的10％－30％；
照度300LX。
光學微電子淨化工程結構材料
1. 淨化廠房牆、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板製造，其特點為(wei) 美觀、剛性強。圓弧牆 角、門、
窗框等一般采用專(zhuan) 用氧化鋁型材製造。
2.地麵可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板製成，貼淨化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.高效送風口用不鏽鋼框架，美觀清潔，衝(chong) 孔網板用烤漆鋁板，不生鏽不粘塵，宜清潔。
