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潔淨度等級標準
潔淨度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個(ge) 唯一指標來劃分潔淨室(區)及相關(guan) 受控環境中空氣潔淨度的等級,並且僅(jin) 考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um範圍內(nei) 累計分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為(wei) 常規粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空氣潔淨度分級標準:ISO14644-1(國際標準)
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空氣潔淨 度等級(N) |
大於(yu) 或等於(yu) 所標粒徑的粒子最大濃度限值(個(ge) /每立方米空氣粒子) |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
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ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
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ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
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ISO Class7 |
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
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ISO Class8 |
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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ISO Class9 |
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